“最初光刻机,是采用汞灯产生的 436nm g-line 和 365nm i-line 作为光刻光源。后来采用248nm的 KrF准分子激光作为光源,将最小工艺节点提升至350-180nm 水平。”
“但是,再往下其实就很难了。”
“据我了解,新技术处在一个变革的关键,事实上所谓的ASML的EUV机器,其实根本是个束之高阁的东西无,无法真正应用。”
“市场上,还没有一家企业购买过!”
“在公司内部,具体细节不清楚,但很显然有重大技术难题他们没有突破。”
“光刻机是个小市场,一年卖几十台的就算大厂了。现在半导体晶圆工厂拢共也没有多少。一台机器还能有好些年。”
“但是,投资又很巨大。资本回报率很低。在国际上,除非是战略考量,并且当做一张关键外交牌来打,否则单纯为钱,是没有企业愿意做的。”
“00年的时候,杰奔尼康在这个领域中,是绝对霸主。”
“可是在今年,ASML的市场占有率,已经达到七成!”
“ASML具体的发展思路规划,咱们并不清楚。不过,这家企业,八十年代三十几个人开始在飞利浦那边做起。”
“这么短时间,直接走上霸主地位。背后依靠的,自然就是超前一步的发展方向。”
“97年,英特尔搞了个EUV LLC合作组织。由优丝官方牵头、集合了摩托摩拉、AMD、以及优丝著名的几家实验室,劳伦斯利弗莫尔实验室、劳伦斯伯克利实验室、桑迪亚国家实验室。”
“投资数亿元,集合数百位顶尖科学家搞理论研究。”
“AMSL也加入了这个项目中,给优丝发了一大堆誓言,比如亲爱的爸爸,你是我永远的明灯之类的。因为,除了他们,没有其他国家光刻机企业加入。”
众人闻言,纷纷笑了起来。
优丝的霸道,大家伙心知肚明。你要是不给人家当奴隶,而且是那种我累死累活,吃不饱穿不暖勉强活着的奴隶,否则,优丝不介意直接让你成为最后的莫西干人。
“从97到03年,项目组科学家发表了数百篇论文,验证了EUV光刻机的可行性。”
“然后,ASML就开始做了。06年,搞出了原型机。07年,建造了一万平米的超级无尘室。”
“接着,就连续几年宣传出现了真正的机器。不过,市场不会骗人。没有企业购买,显然技术有问题。”
“但是我想,时间已经很紧了。从我的信息渠道来看,三五六年,机器可能会进入晶圆工厂。”
曹嘉许皱眉说道:“老大,不会这么夸张吧。”
“EUV算是软X光,穿透物体时,散射吸收非常厉害。光刻机得需要非常强的光源,并且内部还要做成真空的。”
“几纳米的精度要求。对光的集中度要求很高。相当于拿手电筒照射到月球,光斑不超过一枚硬币。”
“反射要求,反射要求的镜子要求长30cm起伏不到0.3nm。比我们搞高精度的数控机床还难无数倍。应该是人类精密制造的最尖端了。”
“提供这些技术的是Cymer公司,这家公司近来发展非常不好。而且现在还是经济危机,全球半导体产业影响也不少。”
“时间会比较紧张的吧?”
曹嘉许在启天科技公司,是数二的光学领域大牛。本身是超级学霸天才,这些年来参与项目不少。自己也搞了许多手机镜头模组的项目组。
对于业内相关信息,知道的很清楚。
辛启天轻轻摇头,“是这样的,不过ASML已经有收购Cymer的打算了。收购不会很快达成,得优丝官方爸爸点头。然而Cymer马上会获取一大笔研发资金。”
“另外,具体他们的研究进度,其实并非常顺利!”
这些信息的获取渠道,辛启天不会讲出来。尽管如此,大家却都没有任何怀疑。辛老大的能耐,众人还是佩服的。
第346章 明确作战方案
曹嘉许沉思着点头,他同样没有怀疑辛启天提供的信息真实度,“如果这样的话,看来我们确实时间很紧。老大,有没有可能,直接跨过EUV技术,提供四代五代机器?”
辛启天轻轻摇头,“跨过EUV技术,不大可能。毕竟EUV阶段,才刚刚起始。没有走到一定阶段,下一阶段,到底开展什么方向研究,我也说不准。”
“因为,我们不可能完全放弃现有半导体产业,独立去搞其他研究。”
“那样的话,需要成百上千的工艺去完善整个供应链才行。否则,即便东西在先进,没有配套的产业链,产业环境。”
“市场很难认可。”
“我们市场应用率比较低,变革幅度大一些没问题。换成欧美那些国家,让他们换一条路走,需要消耗无数庞大的资源。得不偿失。”
“不过,我觉得可以在光源上,琢磨琢磨。”
“现在EUV采取的光源研究方向,是大功率CO2激光器。由于二氧化碳辐射到EUV的转换效率为百分之几,二氧化碳源必须提供20 kW以上的功率的能源。”
“辐射以50kHz的脉冲碰撞~30 μm的锡滴。”
“所以导致,EUV不稳定,碎片衰减严重。ASML他们现在关键攻关的难题,就是大功率CO2激光器系统。”
“我们要做的话,我建议走两个方向,一个简单,一个更难。”
“气体激光器技术已经很成熟了。我有信心,如果我们来搞CO2激光器,或者我更倾向的CO激光器,当然后者对于成本、制造生产运行工艺要求很高。”
“如果我们来做,应该会很快搞定。”
“问题是,东西做出来。与ASML合作是可以的,但对方不会给我们更大优惠。很难让我们入股,每年能购买的EUV机器,恐怕依然在两三台左右。就这,估计还会有许多其他要求。”
“风车国依靠光刻领域霸主,可是没少帮助国内许多地方。”
“另一个方向,我考虑做自由电子激光器。”
“这种激光器,前景非常好!”
“具有高功率、高效率、波长的大范围调谐,和超短脉冲的时间结构,等一系列优良特性。”
“自由电子激光器,产生激光的原理,与以往的激光器有本质上的不同。利用相对论电子束,通过周期磁场将电子束的动能转换为辐射能。”
“如果能做成,在凝聚态物理、材料特征、医学、激光武器等等方面,有很大市场!”
“当然,要解决的问题也很多。首先加速器得解决、其次,还要有用于吸收的光学系统。”
“特别是要应用于光刻技术中的话,需要计算恒定横向周期磁场中的场致受激辐射的效率,转换率,衰减等等。”
“研发成本会很高!”
“我们要投资的地方有很多,我目前,还不能保证,光刻方面投资比例。总得平衡一点,先搞成一个体系。单一有台强大的发动机,结果是老爷车,不配套。水桶最短板一下子过于短。”
饶小荆说道:“那先不着急呗老大,咱们把整个半导体产业链中,所有研究方向都定好了,然后看看哪里可以提前研究一下!”
“没错,确实不着急!”辛启天思考着说道,“设备这一块,我们首先定下的主要方向,在于光刻机。后面,在慢慢讨论,光刻机这个体系中,哪里进一步研究。”
“除生产制造设备,IC设计这块,在我初步研究中,大概率当前半导体工业生产,是可以完成AI芯片架构的。”
“本身,集成电路就是伪三维模式。新的AI化电路,尽管会更加复杂,但不会比单原子晶体管更难。和量算的复杂程度相比,还差不少。”
会议室中,众人继续热火朝天的讨论,议定方案。
辛启天定下的方向,非常明确。那就是,不管技术高低,首先,先把半导体工业制造体系,在华国完全建立起来。
就像曾经最初的华国,魄力十足,去建立起现代化工业体系一般。
会议整整开了一个多月。
在辛启天主持下,前后陆陆续续,总共有三万兄弟,参与进来。
每提高一个具体学科点,哪一个部门的兄弟们,就会加入进来。
此外,像是华芯、夏微半导体、电子集团、华创微电子、申河微电子装备、花微等等国内的半导体产业,全部都加入进行了讨论。
不过,他们主要提供各自当前技术积累,以及未来方向!
最终,形成一份份有效的方案,资料电子版,多达四十G!
并且,组建了华国半导体产业战略协会!
协会的成立,并没有大幅度宣传报道!
除了国内行业内的兄弟们,打了鸡血一样兴奋和关住。
普通民众丝毫不知晓。
而国际上,倒也知道华国动作。毕竟启天科技这边,没有进行保密。也没办法保密,这么大的动作,涉及上千家企业,数十万人,如何能一一严防死守?
国际上,稍稍关注了一些。不过,他们并没有非常重视!反而有不少企业,私下里阴阳怪气嘲讽了一波。
任谁听上去,都不会觉得这占有战略协会靠谱。
全产业链都要完善,这不是搞笑吗!
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